Lưu lượng kế khối lượng thấp

Mục lục
Lưu lượng kế khối lượng thấp là gì?
Đồng hồ đo lưu lượng khối lượng lưu lượng thấp rất cần thiết trong nhiều ứng dụng mà việc đo chính xác lưu lượng nhỏ là rất quan trọng
Lưu lượng kế Coriolis lưu lượng thấp
Cấu tạo của lưu lượng kế Coriolis dòng chảy thấp
Các tính năng chính của lưu lượng kế Coriolis nhỏ được thiết kế để đo lưu lượng khối lượng cực thấp
Màn hình chính của lưu lượng kế Micro Coriolis
Những cân nhắc quan trọng khi lắp đặt đồng hồ đo lưu lượng khối Coriolis lưu lượng thấp
Lưu lượng kế khối nhiệt lưu lượng thấp
Đồng hồ đo lưu lượng nhiệt lưu lượng thấp hoạt động như thế nào?
Đồng hồ đo lưu lượng nhiệt lưu lượng thấp được sử dụng trong những ứng dụng nào?
Thông số kỹ thuật của lưu lượng kế nhiệt khối lượng lưu lượng thấp

Lưu lượng kế khối lượng thấp là gì?

Lưu lượng kế khối lượng lưu lượng thấp là một thiết bị đặc biệt được sử dụng để đo lượng chất lỏng hoặc khí rất nhỏ khi chúng di chuyển qua một hệ thống. Các đồng hồ đo này được chế tạo đặc biệt để đo chính xác lưu lượng thấp tới gam mỗi giờ hoặc kilôgam mỗi giờ.

Để đảm bảo các phép đo chính xác ở lưu lượng thấp như vậy, lưu lượng kế lưu lượng thấp sử dụng nhiều công nghệ khác nhau. Các loại phổ biến của các lưu lượng kế này bao gồm lưu lượng kế dịch chuyển tích cực cho lưu lượng nhỏ, lưu lượng kế khối lượng nhiệt nhỏ hoặc lưu lượng kế Coriolis mini cho lưu lượng khối lượng cực thấp.

Đồng hồ đo lưu lượng khối lượng lưu lượng thấp rất cần thiết trong nhiều ứng dụng đòi hỏi phải đo chính xác lưu lượng nhỏ:

• 1. Trong nghiên cứu và phát triển dược phẩm, chúng hỗ trợ định lượng và phân phối thuốc hoặc hóa chất một cách chính xác.
• 2. Trong các hệ thống vi lưu dùng cho phân tích y sinh, thiết bị phòng thí nghiệm trên chip hoặc lò phản ứng vi mô.
• 3. Để thử nghiệm pin nhiên liệu, để đo lưu lượng khí tham gia vào quá trình này.
• 4. Trong các hệ thống giám sát môi trường, chẳng hạn như giám sát chất lượng không khí hoặc kiểm tra khí thải.
• 5. Trong các thiết bị phân tích, như hệ thống sắc ký hoặc máy quang phổ.

Lưu lượng kế Coriolis lưu lượng thấp

Lưu lượng kế Micro Coriolis SH-CMF-FE đặc biệt tiện dụng để đo lưu lượng khối cực thấp. Chúng hoạt động bằng cách phát hiện độ lệch nhỏ do dòng chảy qua ống rung. Những độ lệch này liên quan trực tiếp đến lưu lượng khối, đảm bảo độ chính xác khi đo.

Bộ điều khiển lưu lượng khối Coriolis vượt trội trong việc cung cấp phép đo chính xác và kiểm soát chính xác lưu lượng khối môi trường chất lỏng, khiến nó trở nên không thể thiếu trong nhiều ngành công nghiệp. Nó đóng vai trò quan trọng trong nghiên cứu khoa học và sản xuất trong các lĩnh vực bán dẫn và mạch tích hợp, lĩnh vực vật liệu đặc biệt, ngành công nghiệp hóa chất và dầu mỏ, sản xuất dược phẩm, bảo vệ môi trường và công nghệ chân không.

Thiết bị dòng chảy này đặc biệt quan trọng trong thiết bị xử lý điện tử, bao gồm hệ thống khuếch tán, quy trình epitaxy, lắng đọng hơi hóa học (CVD), oxy hóa, khắc plasma, phun và cấy ion. Ngoài ra, nó được sử dụng rộng rãi trong thiết bị phủ, quy trình nấu chảy sợi quang, lò phản ứng vi mô, hệ thống trộn và phân phối khí, phép đo mao quản và các thiết bị phân tích như sắc ký khí.

Cấu tạo của lưu lượng kế Coriolis dòng chảy thấp

Lưu lượng kế Coriolis nhỏ bao gồm thành phần chính và thành phần phụ.
Thành phần chính của hệ thống là cảm biến lưu lượng khối, một thiết bị cộng hưởng nhạy cảm với vị trí dựa trên Hiệu ứng Coriolis. Cảm biến bao gồm một ống rung (còn được gọi là ống đo), một máy dò tín hiệu, một bộ điều khiển rung, một cấu trúc hỗ trợ và vỏ.

Ống rung là ống dẫn dao động mà chất lỏng chảy qua. Các máy dò tín hiệu, rất quan trọng để theo dõi hiệu ứng Coriolis, có hai loại chính: máy dò quang điện và máy dò điện từ.

Bộ điều khiển rung có trách nhiệm tạo ra dao động trong ống rung. Cùng với bộ dò tín hiệu và mạch xử lý khuếch đại, nó tạo thành hệ thống dao động tự kích thích phản hồi tích cực.

Cấu trúc hỗ trợ, thường được đúc từ thép không gỉ, neo ống rung và kết nối nó với mặt bích lắp, tạo thành một cụm thống nhất. Vỏ bảo vệ ống rung, máy dò tín hiệu và bộ truyền động rung. Hầu hết các cảm biến lưu lượng đều có vỏ một lớp, nhưng trong các ứng dụng chuyên biệt, có thể sử dụng lớp bảo vệ hai lớp.

Thành phần thứ cấp là bộ truyền lưu lượng khối, một hệ thống điện tử tập trung vào bộ vi xử lý. Nó cung cấp điện cho cảm biến lưu lượng và chuyển đổi tín hiệu của nó thành lưu lượng khối và các thông số đọc liên quan khác. Bộ truyền lưu lượng thấp cũng bù và hiệu chỉnh lưu lượng khối và các phép đo mật độ dựa trên các thông số nhiệt độ. Nó thường đưa ra các tín hiệu dòng điện hoặc tần số chuẩn và hỗ trợ liên kết chéo và giao tiếp từ xa với máy tính chủ hoặc hệ thống DCS thông qua các giao thức truyền thông cụ thể. Bảng hiển thị của bộ truyền lưu lượng mini Coriolis có thể được cấu hình để hiển thị nhiều thông số cần thiết khác nhau.

các tính năng chính của lưu lượng kế Coriolis nhỏ được thiết kế để đo lưu lượng khối lượng cực thấp

- Chúng vẫn duy trì độ chính xác cao ngay cả khi đo lưu lượng rất nhỏ, với mức độ chính xác thấp tới 0,25% khi đo chất lỏng và 0,5% khi đo khí.
- Chúng cung cấp tỷ lệ giảm lưu lượng cao lên tới 100:1, cho phép đo chính xác trên nhiều lưu lượng dòng chảy.
- Máy đo lưu lượng khối lượng nhỏ có thể phát hiện lưu lượng khối lượng thấp tới 40 gam mỗi giờ.
- Được làm bằng vật liệu bền như thép không gỉ 316L.
- Lưu lượng kế siêu nhỏ có nhiều dải đo khác nhau, từ 0 đến 10 kg/h cho đến cao nhất là 0 đến 1000 kg/h.
- Một số model có bộ điều khiển PID tích hợp để điều chỉnh lưu lượng.
- Lưu lượng kế khối lượng thấp cung cấp các tùy chọn đầu ra kỹ thuật số như 0-5V DC, 4-20mA hoặc 1-5V DC và hỗ trợ các giao thức truyền thông như RS485 hoặc RS232.
- Một số mẫu có thể chịu được nhiệt độ cao lên tới 150°C.
- Chúng được thiết kế nhẹ, nhỏ gọn và dễ lắp đặt ở những không gian chật hẹp hoặc trên hệ thống di động.
- Chúng cung cấp nhiều tùy chọn kết nối điện khác nhau như DB9, RJ11 hoặc 5.5×2.1 và có thể được cấp nguồn bằng ±15VDC hoặc 24VDC.
- Chúng thường có mức áp suất tiêu chuẩn là 435 psi, với khả năng chịu áp suất tối đa lên tới 100 bar.

Màn hình chính của lưu lượng kế Micro Coriolis

Những cân nhắc quan trọng khi lắp đặt đồng hồ đo lưu lượng khối Coriolis lưu lượng thấp

1 Thêm Bộ lọc
Đảm bảo khí sử dụng được tinh khiết, tránh bị ô nhiễm bởi bụi, chất lỏng và dầu. Nếu cần, hãy lắp bộ lọc trước lưu lượng kế Coriolis nhỏ. Khi kết nối bình chứa chất lỏng với đầu ra của lưu lượng kế, nên lắp van một chiều ở đầu ra để ngăn chất lỏng chảy ngược, có thể làm hỏng lưu lượng kế.

2 Sử dụng khí ăn mòn
Kênh lưu lượng kế khối lượng nhỏ được chế tạo từ các vật liệu chống ăn mòn như SUS 316L (00Cr17Ni14Mo2), SUS 417J1 (00Cr30Mo2) và cao su fluoro. Các vật liệu này có thể xử lý môi trường ăn mòn nói chung, miễn là hệ thống của người dùng không có hơi nước và nước, ít rò rỉ, thường xuyên vệ sinh và được sử dụng đúng cách. Nếu ứng dụng liên quan đến khí dung môi hữu cơ hoặc có tính ăn mòn cao, điều này cần được chỉ định khi đặt hàng. Đối với các khí ăn mòn đặc biệt, tất cả các vật liệu bịt kín phải được điều chỉnh phù hợp.

3 Vị trí lắp đặt
Để có hiệu suất tối ưu, hãy lắp bộ điều khiển lưu lượng Coriolis nhỏ với bề mặt lắp đặt ở vị trí nằm ngang. Tuy nhiên, thiết bị đo lưu lượng nhỏ không quá nhạy cảm với vị trí và có thể lắp đặt theo bất kỳ hướng nào. Nếu quan sát thấy sự dịch chuyển về số không khi lắp đặt ở vị trí không nằm ngang, có thể điều chỉnh trước khi vận hành.

4 Van Cổng Niêm Phong
Van điện từ trong bộ điều khiển lưu lượng khối lượng nhỏ hoạt động như một van điều chỉnh và không nên được sử dụng như một van đóng ngắt. Người dùng nên lắp một van đóng ngắt riêng, đặc biệt là khi xử lý khí ăn mòn, ở cả đầu vào và đầu ra của bộ điều khiển lưu lượng khối lượng để đảm bảo vận hành an toàn. Sau thời gian sử dụng kéo dài, tỷ lệ rò rỉ tại cổng van trong vòng 2% của thang đo đầy đủ (FS) được coi là bình thường. Nếu rò rỉ vượt quá 2%, cần phải sửa chữa.

5 Hiệu chuẩn và chuyển đổi khí
Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng nhỏ thường được hiệu chuẩn bằng nitơ (N2) tại nhà máy. Nếu cần hiệu chuẩn bằng khí khác, phải nêu rõ khi đặt hàng. Đối với người dùng vận hành bộ điều khiển bằng khí khác ngoài nitơ, có thể thực hiện chuyển đổi bằng cách sử dụng hệ số chuyển đổi được cung cấp.

Lưu lượng kế khối nhiệt lưu lượng thấp

Đồng hồ đo lưu lượng nhiệt lưu lượng thấp hoạt động như thế nào?

Độ chính xác, độ bền và độ tin cậy đặc biệt của đồng hồ đo lưu lượng khối lượng lưu lượng thấp SRK series là nhờ vào đầu dò cảm biến sáng tạo của chúng tôi. Mỗi đầu dò kín chứa hai thành phần cảm biến quan trọng: cảm biến tốc độ và cảm biến nhiệt độ, hoạt động song song để tự động bù trừ mọi biến động về nhiệt độ và áp suất.
Hệ thống hoạt động bằng cách duy trì cảm biến tốc độ ở nhiệt độ không đổi cao hơn nhiệt độ khí, đo hiệu ứng làm mát của dòng khí. Lưu lượng khối của khí sau đó được tính toán dựa trên công suất điện cần thiết để duy trì chênh lệch nhiệt độ không đổi này, tỷ lệ thuận với lưu lượng. Cả hai cảm biến đều sử dụng đầu dò nhiệt độ điện trở bạch kim tiêu chuẩn (RTD), với dây RTD bạch kim được quấn chặt quanh lõi gốm chắc chắn để tăng độ tin cậy. Toàn bộ cụm cảm biến được bọc trong vỏ thép không gỉ 316, đảm bảo độ bền và khả năng bảo vệ lâu dài.

Đồng hồ đo lưu lượng nhiệt lưu lượng thấp được sử dụng trong những ứng dụng nào?

Lưu lượng kế khối nhiệt lưu lượng thấp chủ yếu được sử dụng để đo lưu lượng khí nguyên chất hoặc khí hỗn hợp. Các đồng hồ đo này rất hiệu quả trong việc theo dõi lưu lượng khối của nhiều loại khí khác nhau, bao gồm không khí, nitơ, hydro, oxy, khí sinh học, LPG, mêtan và carbon dioxide, cùng nhiều loại khác. Chúng thường được triển khai trong các ứng dụng mà việc đo lưu lượng khí chính xác là rất quan trọng, chẳng hạn như trong nghiên cứu trong phòng thí nghiệm, hệ thống cung cấp khí công nghiệp, giám sát môi trường, phát hiện rò rỉ khí và sản xuất chất bán dẫn.

Các lưu lượng kế khí siêu nhỏ này đặc biệt có giá trị trong các tình huống đòi hỏi phải đo chính xác lưu lượng khí thấp, nơi mà các công nghệ đo lưu lượng truyền thống có thể gặp khó khăn. Khả năng cung cấp các phép đo lưu lượng khối trực tiếp mà không cần bù nhiệt độ hoặc áp suất khiến chúng trở nên lý tưởng để sử dụng trong môi trường phòng sạch, sắc ký khí và hệ thống phát hiện rò rỉ, cũng như trong kiểm soát quy trình cho các ngành công nghiệp hóa chất và dược phẩm.

Thông số kỹ thuật của lưu lượng kế nhiệt khối lượng lưu lượng thấp

Lưu lượng kế khối nhiệt lưu lượng thấp cung cấp phép đo khí chính xác trong phạm vi từ 2 SCCM đến 30 SL/M, tự hào có độ chính xác ±1% FS và tỷ lệ giảm 100:1. Với thời gian phản hồi dưới 0,8 giây và khả năng lặp lại tuyệt vời ±0,2% FS, đồng hồ đo này đảm bảo hiệu suất đáng tin cậy và nhất quán.

Nó hoạt động hiệu quả trong phạm vi nhiệt độ từ 0~50°C và có thể xử lý áp suất vận hành tối đa lên đến 10 MPa. Thiết bị được chế tạo bằng thép không gỉ chắc chắn làm vật liệu cơ bản, có các miếng đệm làm từ cao su Viton, neoprene hoặc nitrile để có độ bền.

Các tùy chọn giao tiếp bao gồm RS232/485.MODBUS, với các tín hiệu đầu ra có sẵn ở mức 0~5V, 4-20mA và 1-5V. Lưu lượng kế được cấp nguồn bằng ±15VDC hoặc 24VDC và có hệ số nhiệt độ là ±0,025%FS/°C. Giao diện điện được cung cấp thông qua đầu nối DB15 và thiết bị có tỷ lệ rò rỉ là 1×10^-9 SCCS He, đảm bảo tính toàn vẹn cao trong các ứng dụng đòi hỏi khắt khe.