
Cốt lõi của việc đo lưu lượng oxy nằm ở "sự an toàn, độ chính xác và khả năng thích ứng với điều kiện làm việc".

Việc đo lưu lượng khí O2 cần có đồng hồ đo lưu lượng đạt chứng nhận ATEX.
An toàn là điều kiện tiên quyết hàng đầu. Oxy là khí hỗ trợ quá trình đốt cháy, dễ gây nguy hiểm khi tiếp xúc với dầu mỡ và tạp chất. Do đó, lưu lượng kế phải đáp ứng yêu cầu về độ sạch không dầu, vật liệu phải tương thích với oxy và lưu lượng kế phải là loại được chứng nhận ATEX.
Độ chính xác của phép đo khí cũng rất quan trọng, với các tình huống khác nhau đòi hỏi phạm vi sai số khác nhau; sản xuất công nghiệp thường yêu cầu độ chính xác từ ± 1% đến ± 2,5%.
Cần phải lựa chọn loại phù hợp dựa trên các thông số như trạng thái oxy (oxy dạng khí/lỏng), áp suất, nhiệt độ, phạm vi lưu lượng, v.v., để tránh sai sót trong đo lường hoặc hư hỏng thiết bị do điều kiện vận hành không phù hợp.
Hiện nay, các loại lưu lượng kế oxy phổ biến chủ yếu được chia thành ba mô hình cốt lõi, mỗi mô hình có các kịch bản ứng dụng rõ ràng và những ưu điểm riêng, có thể đáp ứng nhu cầu đo lường hầu hết các loại khí oxy;
Đồng thời, cũng có các mẫu chuyên dụng dành cho các điều kiện làm việc đặc biệt để đảm bảo đo lường chính xác và an toàn trong các tình huống khác nhau.
Đồng hồ đo lưu lượng khối nhiệt cho khí O2
Máy đo lưu lượng khí nhiệt SRK-100 là một công cụ đa năng để đo lưu lượng khí oxy. Ưu điểm cốt lõi của nó nằm ở khả năng thích ứng cao và sử dụng tiện lợi. Nguyên lý hoạt động của nó là cảm nhận sự mất nhiệt trong quá trình dòng chảy oxy thông qua các phần tử gia nhiệt và cảm biến nhiệt độ, sau đó chuyển đổi nó thành dữ liệu lưu lượng.
Lưu lượng kế đo khí O2
Lưu lượng kế ống kim loại kiểu rotameter, có thể được coi là "thiết thực" trong đo oxy, được ưa chuộng nhờ cấu trúc đơn giản và hiệu quả chi phí cao. Nguyên lý đo dựa trên sự cân bằng giữa lực nổi và trọng lực, và lưu lượng được biểu thị bằng vị trí nâng lên của rôto bên trong ống kim loại hình nón. Việc đọc kết quả trực quan và rõ ràng, và người vận hành tại chỗ có thể nhanh chóng đọc dữ liệu mà không cần đào tạo chuyên nghiệp.
Loại lưu lượng kế này đặc biệt thích hợp để đo lưu lượng thấp đến trung bình ở nhiệt độ và áp suất phòng, chẳng hạn như giám sát lưu lượng đầu ra của thiết bị sản xuất oxy cỡ nhỏ và điều khiển lưu lượng của các nhánh phân phối oxy trong xưởng. Phạm vi đo thường nằm trong khoảng từ 0,1 mét khối đến 100 mét khối/giờ, đáp ứng được nhu cầu oxy của hầu hết các thiết bị cỡ nhỏ và trung bình.
Vỏ ngoài và ống trong chủ yếu được làm bằng vật liệu thép không gỉ, có khả năng chống ăn mòn cao và có thể thích ứng với sự ăn mòn axit-bazơ nhẹ trong môi trường công nghiệp; Hơn nữa, tỷ lệ hỏng hóc cực kỳ thấp, chỉ có rôto và ống hình nón là các bộ phận cốt lõi, hầu như không cần bảo trì và thay thế thường xuyên, mang lại lợi thế rõ rệt về kiểm soát chi phí.
Tuy nhiên, cần lưu ý rằng phương pháp này phù hợp hơn cho việc đo lường trong điều kiện hoạt động ổn định. Nếu có sự dao động áp suất mạnh hoặc thay đổi đột ngột về lưu lượng, độ chính xác đo lường sẽ bị ảnh hưởng ở một mức độ nào đó. Do đó, nó phù hợp hơn cho các kịch bản giám sát thường xuyên không yêu cầu phản ứng động cao.
Đồng hồ đo lưu lượng xoáy cho khí O2
Lưu lượng kế xoáy thuộc "lực lượng chủ lực" trong đo lưu lượng oxy cao, với ưu điểm là độ chính xác cao và phạm vi đo rộng. Nó sử dụng hiện tượng chuỗi xoáy Karman được tạo ra bởi chất lỏng chảy qua bộ tạo xoáy, thu nhận tần số chuỗi xoáy thông qua các cảm biến và chuyển đổi nó thành lưu lượng.
Hiện nay, có ba loại lưu lượng kế oxy chính được sử dụng phổ biến, mỗi loại có các kịch bản ứng dụng riêng: lưu lượng kế khí nhiệt thích hợp để đo oxy dạng khí, đặc biệt là trong điều kiện lưu lượng nhỏ và trung bình, với tốc độ phản hồi nhanh, tổn thất áp suất thấp, dễ lắp đặt và bảo trì; lưu lượng kế rôto ống kim loại có cấu trúc đơn giản và chi phí vừa phải, thích hợp để đo lưu lượng trung bình và thấp ở nhiệt độ và áp suất phòng, với khả năng đọc trực quan và khả năng chống ăn mòn cao; lưu lượng kế xoáy thích hợp để đo oxy dạng khí lưu lượng cao, với độ chính xác cao, phạm vi rộng, khả năng thích ứng với điều kiện áp suất và nhiệt độ cao, và độ ổn định tốt.
Đồng hồ đo/bộ điều khiển lưu lượng khí O2 siêu thấp
Việc đo lưu lượng oxy nhỏ (như 1 sccm, 10 sccm, 100 sccm, v.v.) đòi hỏi sự cân bằng giữa độ chính xác và khả năng điều khiển, và lựa chọn ưu tiên là một lưu lượng kế khí nhiệt nhỏ và bộ điều khiển. Loại thiết bị này sử dụng nguyên lý khuếch tán nhiệt để đạt được phép đo chính xác bằng cách cảm nhận sự thay đổi nhiệt độ trong quá trình dòng khí. Phạm vi đo có thể thấp tới 0~1 L/h, và độ chính xác đo có thể đạt ± 1% FS, đáp ứng nhu cầu của phòng thí nghiệm, thiết bị y tế, bình phản ứng nhỏ và các trường hợp khác. Đồng thời, bộ điều khiển lưu lượng tích hợp có thể điều chỉnh lưu lượng khí O2 một cách chính xác mà không cần các mô-đun điều khiển bổ sung, giúp dễ vận hành. Thiết bị có kích thước nhỏ gọn, yêu cầu không gian lắp đặt thấp và phù hợp với điều kiện làm việc chật hẹp.
Đo lưu lượng LOX đông lạnh
Oxy lỏng có đặc điểm là nhiệt độ cực thấp (khoảng -183 độ C) và dễ bị hóa hơi. Các lưu lượng kế thông thường không thể chịu được nhiệt độ cực thấp và cần sử dụng các lưu lượng kế Coriolis chuyên dụng. Loại lưu lượng kế này áp dụng nguyên lý đo lưu lượng khối, không bị ảnh hưởng bởi sự thay đổi nhiệt độ, áp suất và mật độ, và có thể hoạt động ổn định trong môi trường nhiệt độ cực thấp. Nên chọn hợp kim thép không gỉ chịu nhiệt độ thấp làm vật liệu để tránh nứt giòn ở nhiệt độ thấp; thiết kế cấu trúc cần có khả năng cách điện tốt để ngăn chặn ảnh hưởng của sự bay hơi oxy lỏng đến phép đo;
Đồng thời, cần đáp ứng các tiêu chuẩn làm sạch không dầu, loại bỏ các mối nguy hiểm về an toàn và được sử dụng rộng rãi trong việc giám sát lưu lượng oxy lỏng trong lưu trữ, vận chuyển, hóa chất, hàng không vũ trụ và các ngành công nghiệp khác.
Ngoài các chức năng cốt lõi, quá trình lựa chọn cần tập trung vào việc kiểm tra các thông số sau: