Đồng hồ đo lưu lượng khối lượng lưu lượng thấp SRK-DL Series và bộ điều khiển lưu lượng có thể đo khí ở mức cực thấp tới 2 sccm (2 ml/phút). Đồng hồ đo lưu lượng cực thấp thường được sử dụng trong nhiều ứng dụng khác nhau như sắc ký khí, phân tích khí, nghiên cứu trong phòng thí nghiệm và các quy trình công nghiệp đòi hỏi phải đo lưu lượng khí chính xác, đồng hồ có thể được sử dụng làm đồng hồ đo lưu lượng oxy thấp, đồng hồ đo lưu lượng không khí lưu lượng thấp, đồng hồ đo lưu lượng cho các ứng dụng lưu lượng thấp Nitơ (N2), đồng hồ đo lưu lượng cực thấp biogas, đồng hồ đo lưu lượng cực thấp cho CO2, v.v.
Nguyên lý hoạt động của đồng hồ đo lưu lượng khí nhiệt lưu lượng thấp/bộ điều khiển lưu lượng
Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng lưu lượng thấp bao gồm một cảm biến lưu lượng khối lượng lưu lượng thấp, một thiết bị phân lớp dòng chảy tầng, một van điều chỉnh bộ điều khiển lưu lượng và một mạch điều khiển khuếch đại. Nó được tạo ra bằng cách sử dụng hiệu ứng phân phối truyền nhiệt của chất lỏng đang chảy để thay đổi sự phân phối nhiệt độ của thành mao quản được đo. Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng lưu lượng thấp này sử dụng nguyên lý nhiệt lượng kế vi sai trước và sau khi truyền nhiệt mao dẫn để đo lưu lượng khối lượng khí thấp tới 2 sccm, không phụ thuộc vào nhiệt độ và áp suất. Khuếch đại tín hiệu lưu lượng do cảm biến đo được, sau đó so sánh với điện áp cài đặt. Sử dụng sự khác biệt để điều khiển van điều chỉnh kiểm soát và điều khiển vòng kín lưu lượng qua kênh để làm cho nó bằng với lưu lượng cài đặt.
Thông số kỹ thuật của lưu lượng kế/bộ điều khiển lưu lượng thấp
Phạm vi lưu lượng khí: 2 SCCM~ 30 SL/M, chẳng hạn như 100 ml/phút, 200 sccm,1 LPM, 2 SLM,5 lít/phút,20 SLPM.
Tỷ lệ giảm: 50:1 cho bộ điều khiển lưu lượng khối kỹ thuật số; 100:1 cho đồng hồ đo lưu lượng khối kỹ thuật số;
Sự chính xác: ± 1% độ ẩm
Tính tuyến tính: ± 0,5% độ ẩm
Độ lặp lại: ± 0,2% FS
Thời gian phản hồi: bộ điều khiển lưu lượng khối lượng < 2 giây; đồng hồ đo lưu lượng khối lượng < 0,8 giây
Giao tiếp: RS232/485.MODBUS
Đầu ra: 0~5V,4-20mA,1-5V
Nguồn điện: ±15VDC,24VDC
Nhiệt độ hoạt động: 0~50°C
Áp suất hoạt động tối đa: 3MPa/10MPa
Cảm biến lưu lượng khối hoặc vật liệu điều khiển lưu lượng: Thép không gỉ
Kết nối quy trình đo lưu lượng dòng chảy thấp: Φ3, Φ6, 1/8”, 1/4”
