Đồng hồ đo lưu lượng và bộ điều khiển lưu lượng dòng chảy thấp dòng SRK-DL có thể đo tốc độ cực thấp của khí ở mức thấp tới 2 sccm (2 ml/phút). Máy đo lưu lượng cực thấp thường được sử dụng trong các ứng dụng khác nhau như sắc ký khí, phân tích khí, nghiên cứu trong phòng thí nghiệm và các quy trình công nghiệp đòi hỏi phải đo lưu lượng khí chính xác, nó có thể được sử dụng làm máy đo lưu lượng oxy thấp, máy đo lưu lượng không khí tốc độ dòng chảy thấp, lưu lượng máy đo cho các ứng dụng lưu lượng thấp Nitơ (N2), máy đo lưu lượng rất thấp khí sinh học, máy đo lưu lượng cực thấp cho CO2, v.v.
Đồng hồ đo lưu lượng / bộ điều khiển lưu lượng khí nhiệt lưu lượng thấp
Bộ điều khiển lưu lượng khối tốc độ dòng chảy thấp bao gồm cảm biến lưu lượng khối dòng chảy thấp, thiết bị phân lớp dòng chảy tầng, van điều chỉnh bộ điều khiển lưu lượng và mạch điều khiển khuếch đại. Nó được thực hiện bằng cách sử dụng hiệu ứng phân phối truyền nhiệt của chất lỏng chảy để thay đổi sự phân bố nhiệt độ của thành mao mạch đo được.
Bộ điều khiển lưu lượng khối dòng chảy thấp này sử dụng nguyên lý đo nhiệt độ vi sai trước và sau khi truyền nhiệt mao quản để đo lưu lượng khối khí thấp tới 2 sccm, không phụ thuộc vào nhiệt độ và áp suất. Khuếch đại tín hiệu dòng chảy được đo bằng cảm biến, sau đó so sánh nó với điện áp cài đặt. Sử dụng sự khác biệt để điều khiển van điều khiển điều khiển và điều khiển vòng kín luồng qua kênh để làm cho nó bằng với lưu lượng đã đặt.
Thông số kỹ thuật của bộ điều khiển lưu lượng / lưu lượng dòng chảy thấp
- Phạm vi lưu lượng khí: 2 SCCM~ 30 SL/M, chẳng hạn như 100 ml/phút, 200 sccm,1 LPM, 2 SLM,5 lít/phút, 20 SLPM.
- Tỷ lệ giảm: 50: 1 cho bộ điều khiển lưu lượng khối kỹ thuật số; 100:1 cho máy đo lưu lượng khối kỹ thuật số;
- Sự chính xác : ± 1% FS
- tuyến tính : ± 0,5% FS
- Độ lặp lại: ± 0,2% FS
- Thời gian đáp ứng: bộ điều khiển lưu lượng lớn < 2s; đồng hồ đo lưu lượng khối <0,8s
- Giao tiếp: RS232/485.MODBUS
- Đầu ra: 0~5V,4-20mA,1-5V
- Nguồn cấp : ±15VDC,24VDC
- Nhiệt độ hoạt động: 0~50°C
- Áp suất hoạt động tối đa: 3MPa/10MPa
- Cảm biến lưu lượng lớn hoặc vật liệu điều khiển lưu lượng : Thép không gỉ
- Kết nối quá trình đo lưu lượng dòng chảy thấp: Φ3, Φ6, 1/8”, 1/4”