Bộ điều khiển lưu lượng và đồng hồ đo lưu lượng khối lượng dòng thấp sê-ri SRK-DL có thể đo tốc độ khí cực thấp ở mức 2 sccm (2 ml/phút). Máy đo lưu lượng cực thấp thường được sử dụng trong các ứng dụng khác nhau như sắc ký khí, phân tích khí, nghiên cứu trong phòng thí nghiệm và các quy trình công nghiệp đòi hỏi phải đo lưu lượng khí chính xác, nó có thể được sử dụng làm máy đo lưu lượng oxy thấp, máy đo lưu lượng không khí tốc độ dòng chảy thấp, lưu lượng đồng hồ đo cho các ứng dụng lưu lượng thấp Nitơ (N2), đồng hồ đo lưu lượng rất thấp khí sinh học, đồng hồ đo lưu lượng cực thấp cho CO2, v.v.
Đồng hồ đo lưu lượng khí nhiệt lưu lượng thấp / bộ điều khiển lưu lượng Nguyên tắc làm việc
Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng tốc độ dòng chảy thấp bao gồm cảm biến lưu lượng khối lượng lưu lượng thấp, thiết bị phân lớp dòng chảy tầng, van điều chỉnh bộ điều khiển lưu lượng và mạch điều khiển khuếch đại. Nó được tạo ra bằng cách sử dụng hiệu ứng phân phối truyền nhiệt của chất lỏng chảy để thay đổi sự phân bố nhiệt độ của thành mao quản đo được.
Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng thấp này sử dụng nguyên lý đo nhiệt lượng chênh lệch nhiệt độ trước và sau khi truyền nhiệt mao dẫn để đo lưu lượng khối lượng khí thấp tới 2 sccm, không phụ thuộc vào nhiệt độ và áp suất. Khuếch đại tín hiệu lưu lượng do cảm biến đo được, sau đó so sánh tín hiệu đó với điện áp đã đặt. Sử dụng sự khác biệt để điều khiển van điều chỉnh điều khiển và điều khiển vòng kín điều khiển dòng chảy qua kênh để làm cho nó bằng với dòng chảy đã đặt.
Lưu lượng kế lưu lượng thấp / thông số kỹ thuật điều khiển lưu lượng
- Phạm vi lưu lượng khí: 2 SCCM~ 30 SL/M, chẳng hạn như 100 ml/phút, 200 sccm,1 LPM, 2 SLM,5 lít/phút,20 SLPM .
- Turn Down Ratio: 50:1 cho bộ điều khiển lưu lượng lớn kỹ thuật số; 100:1 cho đồng hồ đo lưu lượng khối kỹ thuật số;
- Sự chính xác : ± 1% Bảng cân đối kế toán
- tuyến tính : ± 0,5% CFS
- Độ lặp lại: ± 0,2% FS
- Thời gian đáp ứng: bộ điều khiển lưu lượng lớn <2s; đồng hồ đo lưu lượng khối lượng <0,8s
- Giao tiếp: RS232/485.MODBUS
- Đầu ra: 0~5V,4-20mA,1-5V
- Nguồn cấp : ±15VDC,24VDC
- Nhiệt độ hoạt động: 0~50°C
- Áp suất vận hành tối đa: 3MPa/10MPa
- Cảm biến lưu lượng lớn hoặc vật liệu điều khiển lưu lượng : Thép không gỉ
- Kết nối quá trình đồng hồ đo lưu lượng thấp: Φ3, Φ6, 1/8”, 1/4”
