Lưu lượng kế/bộ điều khiển lưu lượng nhỏ theo nguyên lý Coriolis, lưu lượng kế khối lượng có độ chính xác cao nhất cho khí, chất lỏng và hơi nước. Nó có thể phát hiện lưu lượng 40 g/h hoặc thậm chí thấp hơn.
Đối với khí có tốc độ cực thấp chỉ 2 sccm (2 ml/phút), đối với không khí, khí sinh học, khí tự nhiên, N2, O2, CO2, v.v. Độ chính xác 1%FS và thời gian phản hồi 2 giây.
Đồng hồ đo lưu lượng SCCM đo lưu lượng khí với số lượng nhỏ và ở áp suất thấp. Điều quan trọng là trong các ngành công nghiệp như sản xuất chip máy tính, nơi việc kiểm soát dòng khí là cực kỳ quan trọng đối với các công việc như đưa hóa chất lên chip, tạo thiết kế hoặc làm sạch bằng khí.
Một loại bộ điều khiển lưu lượng/đồng hồ đo lưu lượng SCCM được gọi là bộ điều khiển lưu lượng/đồng hồ đo lưu lượng khối nhiệt vi mô. Nó hoạt động bằng cách xem chất khí làm mát cảm biến nóng như thế nào. Càng lạnh, khí càng chảy nhanh.
Đồng hồ đo lưu lượng SCCM cần phải thực sự chính xác, nhạy và xử lý tốt các dòng khí nhỏ. Điều này cực kỳ quan trọng ở những nơi mà ngay cả một sự thay đổi nhỏ trong dòng khí cũng có thể làm hỏng việc chế tạo các thứ, như chip máy tính hoặc thuốc.
Vì vậy, đồng hồ đo lưu lượng SCCM là công cụ thực sự quan trọng để đảm bảo mọi thứ diễn ra suôn sẻ trong các ngành cần kiểm soát chính xác lưu lượng khí. Họ đảm bảo mọi thứ luôn ổn định, ngay cả khi làm việc với lượng khí rất nhỏ.